光电真空系统-阿特拉斯螺杆真空机组

日期: 2024-05-08 浏览次数: 12


Atlas螺杆真空机组是节能减排效果非常好的真空系统,节能可达50%,在光电行业、半导体行业应用深受用户好评。

光电真空系统-阿特拉斯螺杆真空机组:真空领域和减排系统


Atlas螺杆真空机组应用领域:

分析仪器、化工、食品加工、发电解决方案、半导体、平板显示、可再生能源(太阳能、LED照明、储能等)、石材、印刷包装、家具木材等行业。

半导体真空泵应用:

晶圆制造过程中的单晶拉晶、LoadLock、刻蚀、CVD、ALD、封裝、测试等清洁或严苛制程。


真空泵于半导体设备意义重大:

若半导体器件不同材料层之间混入气体分子,会破坏器件的电学或光学性能,而真空系统可对芯片的性能和良率起决定性作用。


Atlas螺杆真空机拥有VSD和设定点控制功能,而常规的真空泵是不具备这样的功能的,可根据实际所需真空水平或速度,提供需求的真空气量,避免造成浪费,Atlas螺杆真空泵是真空领域的节能减排真空系统,节能可达50%,深受用户好评。


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