真空泵机组通常由以下部件组成：各种真空泵;真空测量机组;真空阀;真空管和一些其他组件，如鼓风机，真空接头，储气罐，波纹管，集尘器和真空继电器。
根据机组的工作压力，有粗真空泵机组（> 1330Pa）;低真空泵机组（1330~0.13Pa）;高真空泵机组（0.13~1.3×10-6 Pa）;超高真空泵机组（1.3×10-6）~1.3×10-11 Pa）;非常高的真空泵机组（<1.2×10-11 Pa）。
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用于高真空的罗茨真空泵（机械增压泵）不能直接排放到大气中。例如，直排气氛将导致罗茨真空泵的入口和排气口之间的压力差太大，从而使罗茨真空泵过载。增加罗茨真空泵电机的功率将导致罗茨真空泵过热，因此罗茨真空泵转子之间的小间隙会因热膨胀而迅速卡住。为了确保罗茨真空泵能够实现更高的真空度，必须确保罗茨真空泵转子之间的间隙。因此，罗茨真空泵必须配备前级泵，当系统中的压力通过前级泵泵送到一定范围时，罗茨真空泵启动，这样可以防止罗茨真空泵过载。前级泵可以是可以直接排放到大气中的真空泵，例如水（液体）环真空泵，旋片真空泵，滑阀真空泵或往复式真空泵。
罗茨真空泵机组在正常情况下，使用水环泵作为前级泵比其他真空泵更有优势，主要是因为它可以去除大量的可冷凝蒸汽，特别是当气镇机械真空泵消除冷凝时。有性蒸汽容量不足，或者使用的溶剂会使泵油劣化并影响性能，或者当真空系统不允许油污染时更明显。
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低真空泵机组的主要特点是工作压力大，排量大，但泵送速度低于高真空泵机组。它广泛用于真空泵送和真空吸尘，真空浸渍，真空吸尘，真空脱气，真空干燥等设备。低真空泵机组的主泵是常用的往复式真空泵，油封真空泵，水射流泵，水蒸汽喷射泵，水环泵，油蒸汽喷射泵，分子筛吸附泵和罗茨泵。当使用低真空泵机组时，还必须根据泵送气体的清洁度和湿度的工艺要求配置诸如集尘器和干式过滤器的部件。
高真空泵机组如JZJX，JZJP型罗茨旋片式真空泵机组。
1选择主泵，主泵有扩散泵，分子泵，溅射离子泵，钛泵，低温泵等。
2选择预抽泵和储气管（防震，缩短工作循环，防止真空室内大量通风，并稳定扩散泵的出口压力）
超高真空泵机组
主泵具有极高的真空度，低泄漏率，并且在200至450°C的温度下耐烘烤。
1扩散泵机组：减少回流和控制污染;
2分子泵机组：氢压缩比小，残余气体主要为氢气;
3溅射离子泵机组：通常与钛泵配合使用;
4低温泵机组：无污染。
由于超高真空泵机组的高成本，装配结构更加严格，现在正由罗茨旋片式真空泵机组取代。但是，在极其严格的工作环境要求下，还有另一个量化需求。