真空输送，真空浸渍，真空过滤，真空单调，真空脱气(钢水处理)等低真空装置需要具有高工作压力和大排量的低真空抽油机，以及主泵这种低真空抽油机常用的往复式真空泵，油封真空泵，水蒸气辐射泵，水环泵，罗茨泵等。使用的低真空抽油机也需要配备必要的粉尘收集器，单调罐等根据抽气的清洁度，湿度或其他特殊要求。在紧固过程中水蒸气会凝结成水滴，并与泵混合形成悬浮液，这不仅会导致真空度下降，还会使泵腔和转子生锈，破坏密封面，导致泵的极限真空度下降。因此，重要的是防止水蒸气污染机械泵。预防措施是：
(1)使用带有气镇装置的油封机械泵;
(2)油分离器，离心分离器或油水分离器，将混有水的机械泵油处理，然后将处理过的油用于泵中;
(3)使用吸水的单调剂;
(4)使用液氮冷阱，不仅有效地吸附水蒸气，同时也可阻挡机械泵油从回流到高真空室。
油扩散泵真空系统污染和防止油扩散泵真空系统是最常见的真空系统，其真空范围为1.3×10-3~1.3×10-5
Pa。毕竟由油扩散泵真空系统组成的各种真空装置，常见的缺点是真空不能被抽空，或真空不能被泵送到原来的极限真空水平。它涉及真空室壁内的油蒸气污染和真空过程中各种污染物的污染。预防方法是：
(1)定期清洁真空室。
(2)定期停止清洗油封机械真空泵和油金属扩散泵。