真空系统常常应用于用哪一种真空泵，我们应该根据真空系统的要求,然后应该对这款泵的性能参数特点有详细的了解,比较了各种泵的优缺点之后,再做决定, 为便于选择所要使用的真空泵,现将我国生产的各种类型真空泵总的情况归纳总结一下,简略比较它们的特性和优缺点,下面我们来一起了解一下。
1、水环真空泵
水环真空泵极限真空为2000~4000Pa，吸气量在1500~8330L/min， 它也分为不锈钢和普材，其广泛应用于电子、电池化工、塑胶、造纸、包装印刷、线路版压合、CNC加工中心等各行业中，由于水环真空泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体.
2、 油封机械泵
现生产的2X型旋片泵均为双级,抽速为0.5~150升/秒,有全系列的产品。
滑阀泵分单级(H型)、双级(2H型)。 抽速:H型为8 ~ 600升/秒;2H型为8~ 70升/秒。亦有成系列生产的产品。
余摆线式泵抽速可很大,体积小,目前正在试生产。
这类泵均用作获得低真空,或作高真空泵的前级泵和预抽泵。带有气镇装置的可抽除潮湿空i。但极限真空比抽干燥空气(不用镇时)低-个数量级。泵的抽速系指进口压强在760托时之抽速,当系统压强下降时抽速亦下降,直至接近该泵的极限真空,抽速亦接近于零。其抽降系数有一定规定。
3、螺杆真空泵
这款真空泵的能耗比其它真空技术节能约50％。在一定的抽气能力范围内，GHS VSD+系列是能效最高的油润滑螺杆真空泵。抽速>300立方米/小时到5004立方米/小时，极限压力在0.35bar到1bar，应用广泛，现很多工厂采用阿特拉斯螺杆真空泵进行真空系统改造。
4、机械增压泵(罗茨泵)
工作压强范围10~5x10-4托,常用范围2~5x10-3托,抽速范围150~ 2000升/秒,我国已有成系列产品。这种泵最大抽速在2托~10-2托之间,需要前级泵,不能直接向大气排气。极限真空随前级泵变化。与油增压泵相比,工作压强范围较宽,最大排气压强较高(机械增压泵10~30托,油增压泵1 ~ 2托) ,返流油蒸气很少,用它抽除含有水蒸等可凝性气体时较合适。
5、油增压泵
工作压强范围1 ~1x10-4托,常用范围在0.1~ 1x10-2托,抽速范围200~40000升/秒,弥补了机械泵、扩散泵在此压强范围内抽速小的缺陷。对惰性气体与其他气体有相同的抽速。
6、油扩散泵
普通油扩散泵的工作压强范围10-2~5x10-7托,常用范围10-8~ 5x10-6托,抽速范围20~ 100000升/秒,金属，玻璃结构的扩散泵均成系列生产。超高真空油扩散泵极限压强约为10-10托,除结构与普通油扩散泵略有一点差 异外 ,主要是工作液不同,结构材料不同,即用275硅油等作泵液,结构材料用不锈钢。新设计的超高真空泵差异就较大了。