2BV不锈钢水环真空泵和SPECK品牌水环式真空泵 晶圆产线选哪个
晶圆产线优先选SPECK,预算敏感且非核心工位可以考虑2BV不锈钢。两者真空度完全一样,极限真空都是33毫巴,真正的差距在制造精度、长期稳定性和洁净度控制上,而这恰恰是晶圆产线最在意的东西。一、先看硬参数:真空能力完全打平2BV不锈钢系列和SPECK的VG、V系列,极限真空都是33毫巴,工作真空范围都是760到33毫巴,晶圆吸附只需要200到500毫巴,两家都绰绰有余。过流部件材质方面,2BV可以...
2026
-
05
-
20