光电半导体阿特拉斯螺杆真空机组

来源:
时间: 2024-05-08

螺杆真空泵于半导体设备意义重大:

若半导体器件不同材料层之间混入气体分子,会破坏器件的电学或光学性能,而真空系统可对芯片的性能和良率起决定性作用。





半导体真空泵应用:

晶圆制造过程中的单晶拉晶、LoadLock、刻蚀、CVD、ALD、封裝、测试等清洁或严苛制程。




Atlas螺杆真空机拥有VSD和设定点控制功能,而常规的真空泵是不具备这样的功能的,可根据实际所需真空水平或速度,提供需求的真空气量,避免造成浪费,Atlas螺杆真空泵是真空领域的节能减排真空系统,节能可达50%,深受用户好评。





深圳恒才机电设备有限公司,专注于真空泵领域,为客户提供专业真空设备及真空解决方案,康斯顿国产真空泵、阿特拉斯进口真空泵、司倍克水环真空泵、进口离心泵、真空泵售后维保等一系列真空服务。




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