爪式干式真空泵利用连接到两个轴的成对爪式转子之间、转子和泵腔内壁之间以及转子和隔板之间的间隙和无摩擦接合形成的封闭腔的容积变化来完成吸入和排出过程。
结构
爪式干式真空泵的结构一般采用多级转子串联或罗茨转子与多级转子串联的形式，形成多级爪式干式真空泵。
四个泵室依次串联，每个泵室内有一对爪形转子，爪形转子相互啮合，同步反向运动。
四级泵室中的第一级泵室为吸入级，其吸入容积大于后三级，形成级间压缩。
四对转子安装在两根平行的轴上，轴由上下两端的轴承支撑，泵室级和级之间设有隔板，隔板上设有吸排气通道。
电机上下颠倒安装，通过交叉齿轮将动力传递给转子轴。转子轴由一对同步时限齿轮驱动，并调节和固定转子的相位。
转子之间和转子与泵腔内部留有小间隙，转子悬浮在泵腔内，过流部分没有任何实质性的接触摩擦，不需要润滑，保证了爪式泵能够长期稳定地保持极高的真空度、泵速、恒定的压缩比和长的使用寿命。
特征
泵室不含任何介质，如油等，清洁、排空，对环境无污染。
高真空，高达3Pa。
本实用新型结构简单，易于操作和维护，运行成本低。
能在高压下长时间连续工作，噪音小。
它能去除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含尘气体和可冷凝气体(如水蒸气、有机气体等)。)。
可用作气体输送泵，压缩比为10-105。
转子对悬挂在泵腔内，转子对与泵腔无接触，无摩擦，使用寿命长。
应用
石化工业:
可以除去酸性气体:例如四氢呋喃。
可以去除酒精、汽油等可冷凝气体。
能清除易燃易爆气体:如氧气、氢气、甲烷等。
防腐系列可去除强酸性气体:如氯化氢气体、氟化氢气体、硫酸气体等。
制药行业:结晶、蒸馏、升华、干燥、除臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附/解吸、物料输送腐败、腐蚀性介质、环氧乙烷消毒等。
食品工业:升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保存、真空包装等。
科研机构:旋转蒸发、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试、风洞试验、真空环境模拟等。
电子光伏:浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。
航空航天:钎焊、真空镀膜、电子束焊接、风洞试验、空间环境模拟等。
冶金工业:浸渍、挤压、真空镀膜、离子蚀刻、泥浆脱气、钢水脱气、分子束外延等。
核工业:零泄漏爪式泵可以清除UF6气体
其他行业:中央空调、室内真空、污水处理、锂电池制造等。