一、干式螺杆真空泵转子表面腐蚀原因分析
干式螺杆真空泵的进料介质含有二氧化硫和水。二氧化硫和水结合生成亚硫酸，亚硫酸对金属有腐蚀作用。为了防止转子和泵腔腐蚀，转子和泵腔表面涂有特氟隆层。转子和泵室的腐蚀表明该层已损坏，亚硫酸已腐蚀到泵室内。
二、转子和泵室特氟隆层损伤分析
转子和泵室表层损坏有三种可能的原因:
1，泵室内有固体颗粒进入，这会导致涂层损坏。
2，化学物质在泵室和转子上形成胶体，胶体碳化并硬化，损坏转子和泵室的涂层。
3，还有其他原因。
1、螺杆真空泵转子和泵室固体颗粒损伤分析
检查泵进口设备和管道，未发现金属碎片、铁屑等自由移动的固体颗粒。
2、螺杆真空泵转子和泵腔胶体碳损伤分析
泵入口管道内壁附件照片显示，该物质为深棕色。经过分析，物质中的铁、碳和氧元素是聚合物质，如丁二烯和环丁砜，它们粘附在管道内壁上。如果该物质粘附在泵腔和转子表面，很容易碳化和硬化，从而损坏转子表面层。
3、螺杆真空泵转子和泵室工艺因素分析
真空泵的气相出口压力为80千帕(A)，为负压，而泵的液相出口为常压。在正常情况下，泵出口处的液体不能是正常的进入地下液罐，从而形成回流，导致含有亚硫酸的液体物质在泵出口处积聚。积聚在泵出口的亚硫酸液体对真空泵形成冲击腐蚀。应该说，泵出口处液体的回流是泵转子和泵腔腐蚀的主要原因。