半导体真空泵改造方案节能可达50%

来源:
时间: 2023-03-28

真空泵于半导体设备意义重大:

若半导体器件不同材料层之间混入气体分子,会破坏器件的电学或光学性能,而真空系统可对芯片的性能和良率起决定性作用。


半导体真空泵系统改造

(半导体真空系统改造前现场1)



半导体真空泵应用:

晶圆制造过程中的单晶拉晶、LoadLock、刻蚀、CVD、ALD、封裝、测试等清洁或严苛制程。



半导体真空系统改造

(半导体真空系统改造前现场2)



Atlas螺杆真空机组应用领域:

分析仪器、化工、食品加工、发电解决方案、半导体、平板显示、可再生能源(太阳能、LED照明、储能等)、石材、印刷包装、家具木材等行业。


半导体螺杆真空机组应用

(半导体真空系统改造后,螺杆真空机组应用现场1)



经过深圳恒才机电的真空方案改造后,半导体真空泵应用方案节能可达50%:

1、一台Atlas螺杆真空机组可替换多台泵组,为可客户减少能耗、集中抽真空方便管理;

2、Atlas螺杆真空泵拥有VSD和设定点控制功能,而常规的真空泵是不具备这样的功能的,可根据实际所需真空水平或速度,提供需求的真空气量,避免造成浪费;

3、Atlas螺杆真空泵是真空领域的节能减排真空系统,节能可达50%,深受用户好评。


atlas螺杆真空机组应用

(半导体真空系统改造后,螺杆真空机组应用现场2)



深圳恒才机电设备有限公司的真空泵、真空系统在电子、半导体工业、制药工业、印刷行业、镀膜、橡塑成型、PET片材挤出、颗粒挤出、医疗器械等工业领域应用,恒才真空泵厂家始终以稳定的真空系统为客户提供安全可靠的真空解决方案、定制化中央集成真空系统。


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